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北京燕京電子有限公司
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圖片 簡介 MSP系列薄膜分析產品來自美國AST公司，其可以實現微小區域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜微小區域進行分析提供了便利
MSP系列薄膜分析產品來自美國AST公司，其可以實現微小區域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜微小區域進行分析提供了便利。
| 基本功能 | 1，針對微小區域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數 |
| 產品特點 | l 強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫； |
| 系統配置 | 型號：MSP500RTMF |
波長范圍：250nm到1700 nm
波長分辨率: 1nm
光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸：zui多可至20mm
測量厚度范圍: 20? 到25 μm
測量時間：zui快2毫秒
精度*：優于0.5%(通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
重復性誤差*：小于2 ?
可選配件項
l 波長可擴展到遠DUV或者長NIR范圍(～2500nm)
2 可根據客戶的特殊需求來定制
3 在動態實驗研究時，可根據需要對平臺進行加熱或致冷
4 可選擇的平臺尺寸可測量300mm大小尺寸的樣品
5 更高的波長范圍的分辨率可低至0.1nm
6 各種濾光片可供各種特殊的需求
7 可添加應用于熒光測量的附件
8 可添加用于拉曼應用的附件
9 可添加用于偏光應用的附件
主要應用于透光薄膜分析類領域：
l 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)
2 半導體制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)
4 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
5 半導體化合物
6 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
7 非晶體，納米材料和結晶硅
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