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微波等離子清洗機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：吳運祥查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-05-16 15:04:31瀏覽次數(shù)：142次

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經(jīng)營模式：

商鋪產(chǎn)品：8條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：吳運祥 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

微波等離子清洗機具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。

詳細介紹

NANO-MASTER 等離子清洗和灰化系統(tǒng)是專門設(shè)計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，微波等離子清洗機可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。

儀器的選配：

  • 真空泵 ： 真空泵組，如，抽吸能力大250m3/h
  • 氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器（可支持到4路）
  • 旋轉(zhuǎn)臺：鋁，直徑350mm,速度可調(diào)
  • ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體

NPC-4000微波等離子清洗機產(chǎn)品特點：

  • 緊湊型立式系統(tǒng)
  • 自動上下載片
  • 帶Load Lock
  • 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
  • 兼容100級超凈間使用
  • 淋浴頭、ICP或微波等離子源
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺
  • RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
  • 全自動或手動RF調(diào)諧
  • zui多可支持8個MFC帶電拋光的氣體管路
  • PC計算機控制的氣動閥
  • 帶密碼保護的多級訪問控制
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 機械泵的壓力可達到10mTorr
  • 250 l/s的渦輪分子泵
  • 極限真空為5x10-7Torr
  • 完整的安全聯(lián)鎖


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