顯微激光測振儀，是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。顯微激光測振儀它可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量，可以**測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等信息。

詳細介紹

顯微激光測振儀

顯微激光測振儀特點：

非接觸測量，無負載；

激光光斑極小，微米級；

*的帶寬和動態范圍；

高空間分辨率；

工作距離可選；

高靈活性、易安裝、易操作；

振動傳感器結構緊湊、性能穩定、抗外力沖擊、測量精度高

配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置。

顯微激光測振儀擴展功能：

利用顯微鏡視頻閃頻技術測量物體面內振動特性(可定制)

通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)

顯微激光測振儀應用領域：

微機電系統（MEMS）動態測試

生命科學、醫學、動物學研究，如昆蟲等生物的活體的振動特性測量

計算機外設的動態測試：硬盤驅動器、光盤機、磁帶機、頭/盤接口等；

超聲振動測量

壓電陶瓷振動測量

弦線/絲線振動特性測量

微型陀螺儀振動測量

顯微激光測振儀技術參數
工作溫度	3℃ - 45℃
工作濕度	<90%
電源	220 - 240Vrms，50-60Hz
激光波長	He-Ne Laser 632.8nm
速度量程① （可選）	50mm/s，100mm/s，500mm/s 1m/s，5m/s，10m/s
輸出電壓	±10V
頻率范圍	DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz （根據解調卡而定）
濾波設置	高通低通濾波設置
速度分辨率②	1um/s
位移分辨率	0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz
大線性誤差	1.00%
機架（標準配置）	反射用機架，低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程25mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統。
光學參數	檢測器尺寸：1/2 測量距離：9mm（使用10X物鏡時）
觀測裝置	CMOS數碼相機： 320萬像素（USB2.0）