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蘇州歐米特光電科技有限公司
MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學系統可實現對微小物體的振動測量,使激光光斑達到微米量級,提高測量的準確性,并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態。隨著MEMS的日益發展,顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌,是專門對微結構的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。顯微激光測振儀MLV-100顯微激光測振儀MLV-100
MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學系統可實現對微小物體的振動測量,使激光光斑達到微米量級,提高測量的準確性,并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態。 點直徑* 大約10um 頻率響應范圍* DC to 25KHz, DC to 100KHz, DC to 1MHz/2.5MHz 測量速度范圍 法向* 50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s 切向* 150mm/s, 1500mm/s, 15m/s,30m/s 濾波設置 高通、低通濾波設置 顯微鏡 目鏡 放大倍率 W.D 光束直徑 5X 34mm 30um 10X 34mm 20um 20X/50X 20mm/13mm 10um/2um X-Y平臺 尺寸 100X100mm 移動范圍 +/-10mm 分辨率 0.001mm *可根據客戶要求,并可為客戶定制 顯微激光測振儀MLV-100
隨著MEMS的日益發展,顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌,是專門對微結構的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。
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