HITACHI EA600VX 掃描X射線熒光光譜儀 特 點：
◆無需使用液態氧的高感度實現
◆超高速掃描（500點連續測定）及位置測試雙重功能
◆多功能自動定位 ◆凹凸樣品自動補正
◆超高解析樣品圖像 ◆高精度膜厚測定
◆微小異物查找 ◆掃描
1. 高速掃描測量
通過結合了大幅提高的微小區域X射線瑩光分析靈敏度和高速電動平臺，能夠快速獲得二維掃描圖像。特別是強化了對線路板中鉛的掃描，配備了鉛掃描濾波器。讓1,000ppm以下無鉛焊錫中的鉛掃描變成簡單可行。
2. 寬視野高清晰度光學系?
可獲得250mm x 200mm的20μm以下高清晰度的光學影像。以該光學影像可以直接精確測量位置，讓操作性得到飛躍般的改善。此外，該光學影像可以和通過高速掃描獲得的掃描圖像進行重迭，可在大范圍內進行高精度分析。
3. 微小區域中微量金屬的高速測量
實現了高密度微小X射線束以及配備的高計數率檢測器，加上充分考慮到X射線瑩光檢測效率的設計，實現了高靈敏度化。微小區域中微量金屬或薄膜都可在短時間內測量。即使是1mm x 1mm左右的微小區域也可以以100秒左右的速度測量其中的有害物質。
4. 無需液氮的高計數率檢測器
作為標準配置本公司*的無需液氮的高計數率檢測器，省去了繁瑣的液氮補給程序。僅需數分鐘的開機時間，同時電子冷卻的規格具備了優異的可信性。運用的技術可以減少在液氮制造、搬運時產生的二氧化碳，以及提高測量速度后節省下的電力等，是一款考慮到環保問題的*儀器。
5. 微小區域的鍍層厚度測量
可在十秒左右的時間完成對0.2mm x 0.2mm面積中Au/Ni/Cu（金/鎳/銅）等薄膜多鍍層的鍍層厚度測量。此外，也可對無鉛焊錫鍍層或化學鎳鍍層中含有的微量鉛進行分析。
HITACHI EA600VX 掃描X射線熒光光譜儀 基本規格
X射線發生部 | 照射方式 | 上部垂直照射方式 |
電壓 | 大50kV，多段電壓切換 |
電流 | 4-1000μA，可做自動調整設定 |
準直器 | 4個，Φ0.2mm、Φ0.5mm、Φ1.2mm、Φ3mm (自動切換) |
檢測器 | 形式 | Vortex硅半導體多陰極偵測器 |
冷卻方式 | 電子冷卻(不需要液態氮，也非冷凍機冷卻) |
一次濾波器 | 五種濾波器，6種模式可自動切換 |
樣品觀察 | CCD監視器 | 高分辨率CCD彩色鏡頭 雙系統 |
觀察倍率 | 多倍數自動切換- |
照明 | LED燈，無影燈設計影像無陰影 |
同軸觀察系 | 視野：6×4mm 分辨率：20um WD：5mm、15mm、25mm電動 |
廣域觀察系 | 視野：250×200mm 分辨率：20um以下 |
自動桌面功能 | 測量位置 | 在畫面上利用鼠標完成X-Y-Z的坐標輸入 |
設定測量位置 | 原點的坐標和畫像保存以及位置偏差角度的修正 |
確認測量位置 | 圖表表示測量位置 |
再測量功能 | 通過和測量位置的連動，可以進行再測量 |
樣品臺 | 250(W)x200(D)mm |
移動量 | 大580(W)x450(D)x150(H)mm |
大樣品厚度 | 150mm |
載重量 | 5kg |
電源容量，接地 | AC 100V±10% 15A 2系統 第3種接地 |
