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HAF系列 - 低流量放大氣體質(zhì)量流量傳感器

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所在地區(qū):廣東深圳市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

霍尼韋爾ZephyrHAF系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面

詳細(xì)介紹

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對(duì)空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測(cè)量空氣和其他無(wú)腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM,另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專(zhuān)用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經(jīng)校準(zhǔn)的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。基于 ASIC 的補(bǔ)償能實(shí)現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時(shí)間。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測(cè)量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成,薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi),提供對(duì)于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測(cè)量等性能,并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅(jiān)固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅(jiān)固耐用。它們的設(shè)計(jì)與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。

  • 補(bǔ)償式。

  • 10 SLPM 至 300 SLPM。

  • 數(shù)字輸出

zephyr_HAF_series 50sccm-750sccm datasheet.pdf

HAF zephyr_digital_airflow_10slpm-300slpm datasheet.pdf



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