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半導體曲線圖示儀CS-8000系列

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產品型號CS-8000系列

品牌

廠商性質其他

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更新時間：2023-11-10 12:26:22瀏覽次數：184次

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產品簡介

簡　　述： CS-8000 系列半導體曲線示蹤儀是所有過程表征的理想選擇，具有多種單元的組合，并與下一代半導體測量兼容。

詳細介紹

[新品] CS-8000 半導體曲線描繪儀

高達 5kV，高達 2000A 的大功率測試
精確的微電流測量（分辨率 250fA）
12.1英寸大觸摸屏
多種GATE信號輸出功能
廣泛的溫度特性測量選項
使用探針進行高功率晶圓測試

CS-8000 系列半導體曲線示蹤儀是所有過程表征的理想選擇，具有多種單元的組合，并與下一代半導體測量兼容。

主要規格	柵極電壓	電壓范圍	測量電流	電流測量分辨率
主要規格	± 40V	0.2至5 kV	2千安培	250毫安

實測
優勢

與 SiC 和 GaN 器件兼容
與晶圓和低功率設備兼容
兼容大功率設備
支持微小電流測量

用戶友好的用戶界面

配備 12.1 英寸 TFT-LCD (1,280 x 800) 高清大屏幕顯示器。除了觸摸屏操作外，前面板上的功能鍵和每個功能的獨立旋鈕可實現直觀的操作。。

(1) X-Y顯示區

X、Y軸可分別設置任意電壓/電流參數，顯示Vds-Id特性、閾值電壓、Vds-Vgs飽和特性等各種半導體特性曲線。此外，您還可以為 Y 軸設置多個參數。刻度可以在對數/線性之間切換。

②Y-T顯示區

像示波器一樣在時間軸上顯示測量的應用波形。可實時確認脈沖寬度、測量點數、振蕩等波形異常，可輕松確認是否進行了正確的測量。所有施加的波形數據都可以與 XY 顯示數據同時保存，從而可以重新驗證測量結果。

③ 測量數據顯示區

詳細的測量結果、測量條件和狀態以文本格式顯示。

④配置設置區

設置設備測量配置。圖形顯示支持電壓/電流單位選擇和接線更改。

⑤ 參數設置區

在此區域中，您可以設置測量參數和測量限值，并在手動和自動測量之間切換。

⑥ 操作面板

按鈕和旋鈕位于前面板上，便于手動測量。數字鍵盤允許輸入參數的數字。DRAIN/COLLECTOR、GATE/BASE、垂直軸和水平軸旋鈕可輕松進行手動測量。

應用程序的輸出源

可根據應用任意選擇測量所需的電壓和電流單位。

右邊的照片是

上排：測試治具

下排：大電流單元

■高壓機組

2kV、5kV高壓機組。可選擇直流/脈沖波。可選擇恒壓/恒流驅動測量。

主機	CS-8200	CS-8500
電壓（電流）	2kV (20mA)	5kV (8mA)
波形	直流、脈沖
極性	正面及負面
測量電流分辨率	250 毫安

■ MV單元（所有主要單元通用）

電壓（電流）	200V (2A)
波形	DC (200 mA)、脈沖 (2 A)、 SIN、半波、全波
極性	正/負/雙極
測量電流分辨率	250 毫安

200V 中壓裝置。可選擇恒壓/恒流驅動測量。除了 DC 和脈沖波形外，還可以選擇 SIN、半波和全波波形。

■ GATE 單元（所有主要單元通用）

它是一個 40V 單元。可選擇恒壓/恒流驅動測量。除DC外，還可以選擇脈沖、SIN。

電壓（電流）	40V (1A)
波形	直流、脈沖、正弦
極性	正/負/雙極
測量電流分辨率	250 毫安

■ 碳氫化合物單元

碳氫化合物單元	CS-205	CS-210	CS-220
電流（電壓）	500A (50V)	1kA (50V)	2kA (50V)
波形	脈沖
脈沖寬度	10 微秒至 1 毫秒	10 微秒至 500 微秒
極性	正面及負面

安裝大電流模式后，可支持高達2000A的大電流測量。可以更改脈沖寬度、測量間隔和測量范圍。

最小電流分辨率 250 fA

通過采用三軸設計和優化測量系統，減少了設備內部的泄漏和噪音，從而可以穩定地測量微小電流。

多功能 GATE 信號輸出

GATE 信號可以按順序輸出并應用。

保持時間可變范圍

0.000[s] 至 5.000[s]

備用信號電壓范圍

GATE 側 -40[V] 至 +40[V]

高壓機組
CS-8000系列主要規格
主機型號名稱	CS-8020	CS-8200	CS-8500
峰值電壓（電流）	―	2kV (20mA)	5kV (8mA)
測量電壓范圍（滿刻度）	―	2kV 至 50V	5kV 至 50V
測量電流范圍	―	20mA 至 50uA	20mA 至 50uA
最小測量電流分辨率	―	250 毫安	250 毫安
波形	―	直流/脈沖	直流/脈沖
中壓單位
峰值電壓（電流）	200V (1A)
測量電壓范圍（滿刻度）	200V 至 200mV
測量電流范圍	2A 至 5nA
最小測量電流分辨率	250 毫安
波形	DC (200 mA)、脈沖 (2 A)、SIN、半波、全波
門單元
峰值電壓（電流）	40V (1A)
測量電壓范圍（滿刻度）	50V 至 1V
測量電流范圍	1A 至 5nA
最小測量電流分辨率	250 毫安
波形	直流/脈沖/正弦波 (50 赫茲)
標準配件	電源線、控制接口端接器、使用說明書（小冊子+CD）

HC 單元型號名稱	CS-205	CS-210	CS-220
峰值電流（電壓）	500A (50V)	1,000A (50V)	2,000A (50V)
測量電壓范圍（滿刻度）	50V 至 200mV	50V 至 200mV	50V 至 200mV
測量電流范圍	500A至5A	1,000A 至 5A	2,000A 至 5A
波形	脈沖（10 μs 至 1 ms 寬度）	脈沖（10 μs 至 500 μs 寬度）	脈沖（寬度 10 μs 至 500 μs）
標準配件	電源線、HC-FIXTURE連接裝置、使用說明書

* 使用 HC 裝置時，需要單獨的檢測電纜。

測試治具型號名稱	CS-320MV（即將推出）	CS-322HV/HC
標準配件	電源線、標準導線組（CS-005 7 件套）、使用說明書
標準配件	―	高壓/高壓電纜 (2)

*連接測試夾具時，需要單獨的電纜。

■ 電纜套件（連接測試夾具和 HC 單元時使用。）
電纜組名稱	型號	產品名稱
CS-020 MV標準電纜組（CS-320 的推薦設置）	CS-026	7 根三軸電纜 (L=1.0 m)
	CS-027	1 條控制接口電纜 (L=1.0 m)
	CS-028	1 聯鎖/感應電纜 (L=1.0 m)
CS-021 高壓標準電纜組（CS-322 的推薦設置）	CS-025	2 根高壓電纜 (L=1.0 m)
	CS-026	7 根三軸電纜 (L=1.0 m)
	CS-027	1 條控制接口電纜 (L=1.0 m)
	CS-028	1 聯鎖/感應電纜 (L=1.0 m)
CS-022 HC 標準電纜套件（HC 單元的推薦設置）	CS-027	1 條控制接口電纜 (L=1.0 m)
CS-022 HC 標準電纜套件（HC 單元的推薦設置）	CS-028	1 聯鎖/感應電纜 (L=1.0 m)

遲滯測量

CS-8000 具有測量 SiC 和 GaN 等具有滯后效應的寬帶隙半導體的便捷功能。

雙掃功能同時顯示上掃和下掃，可以觀察滯后現象。

安全機制

除了互鎖功能外，它還具有輸出限制功能。

您可以為電壓、電流和功率設置限制值，以防止損壞 DUT。

此外，硬件過流保護功能在電流為量程的1.4倍時切斷電流。

組合配置

可根據測量對象的電壓和電流選擇 HC 單元和夾具。

■ 配置示例		在 2 kV、2,000 A 下使用時
	主機		CS-8200	附件電纜
	碳氫化合物單元		CS-220		高壓標準電纜組	CS-021
	測試治具		CS-322HV/HC		HC 標準電纜套件	CS-022