ZEISS SIGMA 系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時間：2023-10-24 15:24:05瀏覽次數(shù)：114次

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寧波天準智能科技有限公司

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所在地區(qū)：浙江寧波市

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產(chǎn)品簡介

蔡司場發(fā)射掃描電子顯微鏡 Sigma 系列，具有高品質(zhì)的成像和分析能力，將場發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)與優(yōu)秀的用戶體驗結(jié)合。利用 Sigma系列直觀的 4 步工作流程，可以提高日常所需的成像和分析效率，在更短的時間內(nèi)獲得更多的數(shù)據(jù)。可選配多種探測器，以滿足顆粒物、納米結(jié)構(gòu)、薄膜樣品等各種不同的應用需求。的 EDS 幾何設(shè)計可實現(xiàn)出色的元素分析性能，樣品適用范圍廣，且均可獲得精準可重復的分析結(jié)果。可廣泛應用于材料科學、生命科學、工業(yè)應用等領(lǐng)域。

詳細介紹

產(chǎn)品特點

?靈活的探測手段獲取高分辨的圖像

? 智能高效的工作流程

? *的分析系統(tǒng)

? 可擴展拉曼光譜成像

? 的 Gemini 鏡筒設(shè)計 - 提升光學性能的同時，降低靜電場與磁場對樣品的影響

應用領(lǐng)域

? 材料研究，涂層薄膜分析，形態(tài)表征與成像分析

? 生命科學，如冷凍樣品高分辨成像

? 地質(zhì)礦物學，如材料巖石樣品分析

? 工業(yè)應用，如組件失效分析，工藝診斷

? 電子半導體行業(yè)，如質(zhì)量控制與分析

? 鋼鐵行業(yè)，如夾雜物分析

技術(shù)參數(shù) & 應用領(lǐng)域

	蔡司 Sigma 300	蔡司 Sigma 500
電子源	肖特基場發(fā)射電子槍	肖特基場發(fā)射電子槍
30 kV 分辨率★(STEM)	1.0nm	0.8nm
15kV 分辨率★	1.0nm	0.8nm
1kV 分辨率★	1.6nm	1.3nm
30 kV 分辨率★(可變壓力模式)	2.0nm	1.5nm
背散射電子探測器(BSD)	aBSD / HDBSD	aBSD/ HDBSD
掃描速度	50ns/ 像素	50ns/ 像素
加速電壓	0.02- 30kV	0.02- 30kV
放大倍率	10x - 1,000,000x	10x- 1,000,000x
探針電流	3pA-20nA(100nA 可選)	3pA-20nA(100nA 可選)
圖像存儲分辨率	32k×24k 像素	32k×24k 像素
接口數(shù)量	10	14
EDS 接口	2(1 個專用接口)	3(1 個專用接口)

★分辨率指標：系統(tǒng)驗收時，理想工作距離下，在 1kV 和 15kV 高真空條件下獲得的分辨率

真空模式
高真空	配備	配備
可變壓力	10-133Pa	10-133Pa
樣品臺類型	5 軸電動優(yōu)中心樣品臺	5 軸優(yōu)中心樣品臺	5 軸電動優(yōu)中心樣品臺選件
樣品臺 X 軸行程	125 mm	130 mm	125 mm
樣品臺 Y 軸行程	125 mm	130 mm	125 mm
樣品臺 Z 軸行程	50 mm	50 mm	38 mm
樣品臺 T 軸傾斜度	-10 - +90 度	-4 - +70 度	-10 - +90 度
樣品臺 R 軸旋轉(zhuǎn)角度	360°連續(xù)	360°連續(xù)	360°連續(xù)