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上海德竹芯源科技有限公司


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HP-200 柜式熱板

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)HP-200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2024-04-07 10:00:37瀏覽次數(shù):170次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:157條

所在地區(qū):上海上海

產(chǎn)品簡介

HP-200 熱板應(yīng)用于光刻、MEMS 或相似工藝中,為提供精準(zhǔn)的前烘和后烘工藝而存在。溫度范圍默認(rèn)可以達(dá)到 250°C。設(shè)定溫度與實(shí)際溫度之間幾乎無偏差,可達(dá)到非常高質(zhì)量的工藝水平。HP 系列熱板具備高水平的溫度精度重現(xiàn)性以及溫度分布均勻性。可處理 200 × 200mm 尺寸的基片。 熱板加熱表面有玻璃蓋板,方便清潔。有此設(shè)計(jì),也可大限度降低維護(hù)成本。因此,SAWATEC 熱板是實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)、試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所的優(yōu)選。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

數(shù)字溫度控制及實(shí)時(shí)溫度顯示

重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)

自動(dòng)溫度限幅開關(guān),避免過熱

加熱工藝可編程多段式,每個(gè)工藝可設(shè)置 20 段

電動(dòng)升降式載片頂針

配備安全玻璃,也方便清潔

熱板快速調(diào)平,避免光刻膠流動(dòng)

用戶操作的工藝參數(shù)配置界面以及觸摸屏

基片通過真空吸附固定

手動(dòng)上下片


性能參數(shù)

均勻加熱區(qū)域:200mm × 200mm

溫度范圍:室溫到 250℃

溫度均勻性:100℃ 時(shí)溫差范圍 +/- 0.6℃

電動(dòng)驅(qū)動(dòng)頂針的升降



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