結構特點 Features h 單級式減壓結構 h 膜片與母體采用硬密封結構,并有二次密封保護 h 上蓋帶有多重密封保護和排放接口 h 母體接口:1/4” 面密封內螺紋 h 安全壓力:1.5 倍使用壓力 h 輸入壓力:500 psi,1500 psi,3000 psi h 輸出壓力:0-25 psi,0-50 psi,0-100 psi, 0-150 psi,0-250 psi h 適用溫度:-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F) h 泄漏率:1×10-9 mbar.l/s h CV 值:0.16 h 重量:1.54 kg (3.42 lbs)
材質 Materials h 母體:316L (EP),可選 C22 哈氏合金 h 閥座:PCTFE h 膜片:C22 哈氏合金 h 閥桿:C22 哈氏合金
適用范圍 Typical Applications h 半導體 h 太陽能 h 真空鍍覆設備 h 特氣制備