(1) 真空泵不轉(zhuǎn)：
情況不明不能先開泵，以免加重故障，用手能盤動和不能盤動。
① 真空泵泵能盤動而不轉(zhuǎn)
原因可能是聯(lián)軸器故障;皮帶打滑;電機接線有誤;電機損壞;電源沒電等。
② 不能盤動或盤起來很重的
原因可能是因為起動泵溫太低，泵油粘度太高;設(shè)計制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中);有異物在泵內(nèi)(進氣管中的焊渣、氧化物;旋片彈簧等泵零件的碎屑;旋片變形卡住;發(fā)生了咬合 。
(2) 真空泵溫太高：
指低級排氣閥附近測得的高油溫過使用說明書規(guī)定值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉(zhuǎn)間隙縮小，是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙，影響泵運轉(zhuǎn)的性。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進氣溫度太高，進氣冷卻裝置失效，泵長期連續(xù)運轉(zhuǎn)入口壓力太高;水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計效果不佳;溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。
(3) 真空泵漏油：
可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安裝不當(dāng)，損壞失效，表面不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會進入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會漏油。
自制橡膠墊時，部分要用耐油橡膠，要按照原設(shè)計形狀，密封面太大時壓不緊會漏油。
(4) 真空泵漏水：
可以發(fā)生在水管接頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導(dǎo)致漏水。
(5) 大功率標：
可由長期連續(xù)作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進人發(fā)生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內(nèi)太多等引起，會使電機損壞。應(yīng)盡量避免在大功率附近長期連續(xù)運轉(zhuǎn)。如果表面有沉積物，要定期拆開。
(6) 干泵壓力不達標：
可由外漏、內(nèi)漏、油孔堵塞、泵油質(zhì)量或污染變質(zhì)、有水汽等可凝性物質(zhì)、儀器儀表失真、真空泵運轉(zhuǎn)不正常等引起。
