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電子級雙氧水的顆粒管控淺議

閱讀:135發布時間:2023-7-19

什么是雙氧水

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 雙氧水也 叫過氧化氫,過氧化氫是一種重要 的化工 原料,化學式為 H2 O2 過氧化氫是淡藍色的黏稠液體 ,可任意比例與水混溶 ,是一種強氧化   ,水溶液俗稱雙氧水 ,為無色透明液體 。雙氧水的生產方法主要有電  法 、蒽醌法 、異丙醇法 、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等 ,蒽醌法  生產雙氧水 的主要方法 ,  國 內 99%以上 的雙氧水裝置采用該工 藝。

  雙氧水的作用

 氧水根據濃度及應用領域不同可分為電子級 、食品級 、工業級等 。 電  級雙氧水是生產電子集成電路的化學試劑,在半導體制程前  端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導體硅晶片清洗劑 刻劑和光刻膠去除劑 ,還可用于高級絕緣層制取 ,電鍍液無機雜質去   , 電子行業中銅 、銅合金和鎵 、鍺的處理 , 以及太陽能硅晶片的蝕刻  和清洗 。 從行業產量來看 , 2021 年我 國 高純 電子級雙氧水產量 9.44    ,  同 比增長 32.0%。

子級雙氧水屬于濕電子化學品 ,技術壁壘較高 。雙氧水的顆粒管控也    PMT-2 。在雙氧水生產企業已經得 到廣泛應用。



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