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伯東企業(yè)(上海)有限公司


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上海伯東代理美國(guó) KRI射頻離子源 RFICP 220

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參   考   價(jià): 1212000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2024-05-01 15:13:17瀏覽次數(shù):178次

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經(jīng)營(yíng)模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:76條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:鄧 (銷售助理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵極離子源.
離子束流: >800 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: < 0.5m Torr
離子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).

詳細(xì)介紹

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵極離子源.

離子束流: >800 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: < 0.5m Torr

離子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.


伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量


伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 應(yīng)用領(lǐng)域:

1. 預(yù)清洗

2. 表面改性

3. 輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,

4. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

5. 離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD

6. 離子蝕刻 IBE


若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論,   請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生  



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