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深圳市億萊斯儀器有限公司
一、說明潔凈度測試是無塵室性能測試的核心,氣流測試、壓力測試,與泄漏測試,都只在確認無塵室的潔凈度不受外來影響,因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后
一、說明
潔凈度測試是無塵室性能測試的核心,氣流測試、壓力測試,與泄漏測試,都只在確認無塵室的潔凈度不受外來影響,因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢,與落塵有關的性能因素就都測試完畢,其它測試對潔凈度影響不大,或是屬于其它環境測試。
二、測試儀器
潔凈度測試使用微粒計數器,儀器須經校正合格且仍在有效期限內,交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規格,見的是流量 1cfm ,最小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ,單位多是立方英呎。至于應使用何種設備,要依業主的規范而定。一般在產業界,多依以下方式選擇微粒計數器。
Class 1000 或更高: 0.5μm
Class 100 : 0.3μm ,0.5um
Class 1 到 Class 10 :0.1μm
若是業主要求的粒徑范圍超過單一微粒計數器的范圍,則應該使用兩部微粒計數器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數器,因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準,則要把結果作換算。單位換算,不影響上限的計算程序。
三、測試步驟:
(1) 確定空調系統之測試調整與平衡已完成,濾網之風速及泄漏測試均已完成,并已修換破損部分。
(2) 確認測試位置與測試點數。
(3) 取樣時間:每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異,若取樣時間小于一分鐘,則以一分鐘為準。
(4) 測試位置應均勻分布在無塵室內,避免在產生大量粒子之附近,且將檢測儀器以適當之架臺支撐,不可以手持支撐。
(5) 測量點數以公式計算(與 209E 相同)。
四、驗收標準:
潔凈度的驗收基準有二,首先是每點的微粒測量平均值必須低于規定值。潔凈度的第二個驗收基準就是,任一隔間若需使用信賴度上限分析,則該分析值也必須小于規定值。
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