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深圳市億萊斯儀器有限公司
一、說明過濾網的泄漏測試應當是無塵室測試中,最復雜、最耗時間的測量項目
一、說明
過濾網的泄漏測試應當是無塵室測試中,最復雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的,是要確認: 1. 濾網的材料無破損, 2. 安裝恰當。濾網出廠前當然要經過泄漏測試,但是在搬運與安裝過程難保無損,而且濾網的重要性又大于一切,因此安裝完畢都要做一次掃描,以確認濾材無任何泄漏。另外,若是安裝不恰當,微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是 FFU 系統,天花板上是負壓,若是邊框機有微粒日后仍舊會產生問題。因此,邊框掃描一樣重要。 濾網泄漏測試基本上是利用濾網上游的顆粒,然后在濾網下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式,適用在不同的場合。測試方式有: 1. 氣膠光度計測試法, 2. 微粒計數器測試法, 3. 全效率測試法, 4. 外氣測試法。后兩種現在使用非常少。
二、方法
1. 氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是期的測試方式,但是因為效果非常好,到今天仍舊沿用。氣膠光度計( Aerosol Photometer )是微粒計數器的一種,也是使用雷射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,所給的是微粒的總體強度,不是微粒數目。 DOP 是一種油性化學物質,現改用PAO,加壓或加熱霧化之后,可以產生次微米等級的微粒,可用來模擬無塵室的微粒,因此被當成驗證微粒。
2. 微粒計數器測試法
半導體業方面,早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計,但是隨著制造精密度增加,油性挑戰微粒逐漸不容許在無塵室使用,因此出現使用干式灰塵當成挑戰微粒,在上游施放,然后用微粒計數器在下游掃描,尋找泄漏,基本概念相同。經過科學家一步步研究結果,發現 PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制,因此是目前為使用的標準微粒。使用時只要把 PSL 溶液霧化,導入濾網上游即可
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