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上海首榮工業設備有限公司
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HORIBAS4931/MT氣體質量流量控制器/流量計S4931/MT流量控制器、S4931A/MT流量計技術指標編號項目S4931/MTS4931A/MT1流量規格(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(0～1,2,3,5)L/min2調節閥類型電磁調節閥3調節閥靜止狀態常閉4準確度±1%F
HORIBA S49 31/MT氣體質量流量控制器/流量計
S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指標
| 編號 | 項目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
| 1 | 流量規格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
| 2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 | |
| 3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 | |
| 4 | 準確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規格，其余規格≤±2% F.S) | |
| 5 | 線性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
| 6 | 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 7 | 響應時間 | (3～4)s | |
| 8 | 工作壓差范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
| 9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
| 10 | 工作環境溫度 | 5℃～45℃ | |
| 11 | 材料 | 不銹鋼316L | |
| 12 | 標準密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用戶 | |
| 13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
| 14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
| 15 | 輸入輸出信號 | 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) | |
| 16 | 供電電源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
| 17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
| 18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31/MT 系列質量流量控制器外形及安裝尺寸
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