日本HORIBA STEC SEC-400MK3 500MK3氣體質量流量控制器

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更新時間：2024-03-18 14:04:59瀏覽次數：142次

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產品簡介

日本HORIBASTECSEC-400MK3SEC-500MK3氣體質量流量控制器產品型號STECSEC-400MK3STECSEC-500MK3概要MARK3系列是在未改變質量流量控制器的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品

詳細介紹

日本HORIBA STEC SEC-400MK3 SEC-500MK3氣體質量流量控制器

產品型號

STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3

概要

MARK3系列是在未改變質量流量控制器的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行生產、實現了成本降低。適合于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

特征

搭載熱感閥
追求成本優勢、實現成本降低

規格

SEC-400MK3

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)