日本HORIBA S600氣體流量控制器

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更新時間：2024-03-18 14:01:09瀏覽次數：80次

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產品簡介

日本HORIBAS600(≤50SLM)(≤200SLM)氣體流量控制器應用:1.真空鍍膜,LOW-E玻璃2.薄膜沉積系統3.燃料電池系統4.PV5.生物制藥反應器6.凈化空氣7.過程分析,分析流量測試8.工業市場產品特點:1.數字通訊

詳細介紹

日本HORIBA S600(≤50SLM)(≤200SLM)氣體流量控制器

應用:

1.真空鍍膜,LOW-E玻璃

2.薄膜沉積系統

3.燃料電池系統

4.PV

5.生物制藥反應器

6.凈化空氣

7.過程分析,分析流量測試

8.工業市場

產品特點:

1.數字通訊；PROFIBUS model RS-485 model

2.小流量10SCCM~大流量200SLM

3.橡膠密封，金屬密封

4.長期穩定性;零點長期穩定性穩定流量控制性

5.高精度；±1%S.P.（Set point Accuracy）

6.快速響應；1.5sec以下(Typical 1.0sec)

Digital Mass Flow Controller S600是采用數字信號通信，能夠準確控制氣體的質量流量裝置，不收環境溫度，供給氣體壓力變化的影響，按照電氣信號給定的設定流量值自動調控。由于控制氣體的質量流量，不受環境溫度，壓力等的外界影響，可以實現準確且穩定的流量測量，控制。

	S600系列橡膠密封/金屬密封				S600橡膠密封
產品型號	PROFIBUS(橡膠密封）：BR226 PROFIBUS(金屬密封）：BM226 RS485（橡膠密封）：BR222 RS485（金屬密封）：BM222				PROFIBUS(橡膠密封）：CR226 RS485（橡膠密封）：CR222
滿量程流量	10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5SLM		10/20/30SLM	50SLM	100SLM	150SLM			200SLM
閥類型	常閉				常閉
閥驅動	電磁調節閥				電磁調節閥
流量控制范圍	2-99%F.S.				2-99%F.S.
響應時間	≤1.5SEC（Typical 1SEC）				≤1.5SEC（Typical 1SEC）
流量精度	±1.0%S,P（Flow rate>30%F.S.） ±0.3%F.S.（Flow rate≤30%F.S.）				±1.0%S,P（Flow rate>30%F.S.） ±0.3%F.S.（Flow rate≤30%F.S.）
線性	±0.5%F.S.				±0.5%F.S.
重復性	±0.2%F.S.				±0.2%F.S.
工作壓差	50-300KPA(D)	100-300KPA(D)		200-300KPA(D)	100-300KPA(D)		150-300KPA(D)	200-300KPA(D)
工作壓力	450KPA(G)				300KPA(G)
耐壓	1MPA(G)				1MPA(G)
通訊	PROFIBUS或RS485（STEC協議）				PROFIBUS或RS485（STEC協議）
電源電壓	+24VDC				+24VDC
功耗	7.5VA				7.5VA
工作環境溫度	5-45℃（推薦溫度范圍：15-35℃）				5-45℃（推薦溫度范圍：15-35℃）
漏率	橡膠密封：1×10-10pa.m3/s（He）金屬密封：1×11-10pa.m3/s（He）				橡膠密封：1×10-10pa.m3/s（He）
接觸氣體材料	橡膠密封：SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼，氟橡膠金屬密封：SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼				橡膠密封：SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼，氟橡膠
標準接頭尺寸	1/4inch SWL：127mm/1/4inch VCR:124mm				3/84inch SWL：181mm/1/2inch VCR:180mm
安裝角度	任意				任意