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上海首榮工業設備有限公司
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產品詳情：HORIBA各個領域的專家學者們始終致力于不同行業的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即環保和安全
產品詳情：
HORIBA各個領域的專家學者們始終致力于不同行業的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即環保和安全。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發了一系列的分析設備，液體控制和監測系統已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到最終檢查，HORIBA產品能始終幫助客戶在高精的電子器件制程達到高效能。
HOIRBA集團擁有豐富多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩定工作，反應源液罐體后端控壓以保證罐內壓力穩定在安全范圍。這些器件的使用都始終致力于提高制程工藝中的良品率。
見的壓力控制器UR-Z700系列
HoribaZ700系列的產品概要：
UR系列產品為使用高精度壓力傳感器及高效，響應迅速壓電陶瓷閥的數字式調節器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是很有名的
HoribaZ700系列的產品特征：
可使用DeviceNet控制接口
符合環保要求的RoHS處理
HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是很有名的，可使用DeviceNet控制接口，符合環保要求的RoHS處理
HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是很有名的，可使用DeviceNet控制接口，符合環保要求的RoHS處理
見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數字式自動壓力調節器。根據不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發生變化時，管道或罐體內的壓力也隨之發生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩定，甚至可能會對整臺設備的安全造成極大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發出UR-Z700系列，通過快速響應，高精度，穩定控制的性能來調整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩定的控制壓力，并確保氣體質量流量控制器及反應源液的安全穩定運行。
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