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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州太昊科技有限公司


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英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)四極質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

聯(lián)系方式：王建峰,趙彬山查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-05-25 09:01:15瀏覽次數(shù)：176次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：120條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：王建峰,趙彬山

產(chǎn)品簡介

XPR3L 提供的 PVD 過程監(jiān)控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。

詳細介紹

Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)

 

通過監(jiān)測氣體壓力、檢測污染和查找泄漏，優(yōu)化太陽能電池和 LCD 過程良率


用于監(jiān)控過程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監(jiān)控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。


功能

  • 通過運行高達 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經(jīng)濟實惠的雙用功能、過程監(jiān)控和基本真空保證
  • 經(jīng)濟高效的過程監(jiān)控器，可用于可擴展的生產(chǎn)設計
  • 通過持續(xù)自動監(jiān)控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì)，提高過程良率，減少碎片，提高產(chǎn)品質(zhì)量
  • 通過以高靈敏度和*小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產(chǎn)力
  • 可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內(nèi)運行，能夠檢測各種材料、污染或副產(chǎn)品，確保您的投資安全，降低投資風險
  • 與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容，提供可靠、的診斷和過程控制

典型應用

  • 太陽能/光伏設備制造
  • LCD 制造
  • PVD 過程監(jiān)控
  • 監(jiān)控過程氣體壓力和氣體比率
  • 暴露和鑒別污染
  • 檢測和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
  • PM 恢復/故障排除和驗證基本真空





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