PY63110A系列全自動四探針測試儀

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更新時間：2023-05-15 11:09:43瀏覽次數：218次

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產品簡介

PY63110系列全自動四探針測試儀一.功能描述：四點探針法，全自動化運行測量系統，PC軟件采集和數據處理

詳細介紹

PY63110系列全自動四探針測試儀

一.功能描述：

四點探針法，全自動化運行測量系統，PC軟件采集和數據處理；參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻；可設定探針壓力值、測試點數、多種測量模式選擇；真空環境，可顯示：方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件. 報表輸出數據統計分析.

二.適用范圍

晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；選擇性發射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.

三.技術參數：

規格型號	PY63110A	PY63110B
1.電阻	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.方塊電阻	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.電阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.測試電流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度	±0.1%
6.電阻精度	≤0.3%
7.PC軟件操作	PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、2D、3D圖譜、壓力、報表生成等
8.壓力范圍選購：	探針壓力可調范圍：軟件控制,100-500g可調
9.探針	針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規格可定制
10.可測晶片尺寸選購	晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式	單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試
12.加壓方式	測量重復性：重復性≤3%
13.安全防護	具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
14.測試環境	真空
15.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<100W
16.選購項目	電腦和打印機（選購）（選購）