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深圳市科晶智達科技有限公司
簡要描述:石英圓形真空腔體,腔體處理溫度低,避免長時間等離子處理造成的腔體溫度過高,確保對樣品表面沒有造成熱影響。
技術參數 | |||
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型號 | 數量 | 品牌 | PCE-05參數 |
機身 | 一套 | 自產 | 600(W)×400(D)×310(H)mm |
腔體 | 一套 | 石英真空腔體 | 直徑160*200mm |
真空泵 | 一組 | 飛越 | 4L/S |
角閥 | 一套 | 北儀 | 超高真空40KF |
流量控制器 | 二套 | Sevenstar華創 | 0-300mL/m |
射頻電源 | 一套 | (13.56MHz) | 300W |
PLC | 一套 | 三菱 | 包括PLC,A/D模組兩組 D/A模塊兩組溫度模塊 |
電氣系統 | 一套 | 三菱 | 接觸器,繼電器,屏蔽器等 |
觸摸屏 | 一套 | 威綸 | 4.3寸 |
陶瓷封裝 | 一套 | 進口 | 高頻陶瓷 |
電源 | 1 | 自產 | 220V/50Hz |
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