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廣州市淘儀貿易有限公司
自動化設置和操作,基于參考位置和眾多測量位置進行編程,以*大限度地提高測試通量并*大限度地減少出錯。雙攝像機控制,更快地簡化測量設置和定位到感興趣點。容易分析和數據收集,自動執行分析程序,僅報告復雜樣本上所需的特征。
Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品,為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復性。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設計和全封閉工作站設計,具有易用的聯鎖門,是當今苛刻的生產車間環境的的理想之選。其雙攝像頭架構可增強空間感知能力,其高自動化水平可*大限度地提高測試通量。
增強的軟件功能使 Dektak XTL 成為功能*強大、*容易使用的探針式輪廓儀。該系統利用 Vision64 軟件,通過數百種內置分析工具實現眾多的測量位點、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測量形狀,如曲率半徑。模式識別可*大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度。集成化的軟件包將數據收集和分析與直觀的工作流程相結合。
Dektak XTL 以 50 多年的探針式輪廓儀的專業知識和生產設施的應用程序定制為基礎,以滿足當今和未來嚴格的行業路線圖。300 毫米高精度編碼 XY樣品臺為制造商提供了滿足嚴格計量研發要求的可靠工具。Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機提供增強的空間感知。實時視頻中的點擊定位使操作員能夠快速將樣品移動到正確的位置,以便快速輕松地進行測量設置和自動化編程。該系統的大型聯鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。
其他硬件功能包括:
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