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Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-14 12:56:22瀏覽次數(shù)：119次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：51條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

技術(shù)應(yīng)用鏈接:特點(diǎn)便捷的觸摸屏操作界面數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式異常報(bào)警功能自動/手動操作模式可切換儲存多套工藝程序遠(yuǎn)程操控

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

特點(diǎn)

·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式

·異常報(bào)警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出

·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大

 

 

規(guī)格

型號

Tetra 150

控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制（自動/手動切換）

BASIC PC

FULL PC

操作系統(tǒng)

Windows CE

Windows 10

觸摸屏

3.5/7”

15”

工藝氣體

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工藝氣路

1-3（可選）

1-10（可選）

流量計(jì)

MFC /防腐型MFC

真空腔體

不銹鋼W400xD625xH625/150L

鋁合金W400xD625xH625/150L

鋁合金W625xD625xH400/150L

電極

材質(zhì)

鋁/不銹鋼電極

層數(shù)

1-12（可選）

1-2層

1-5層

真空壓力計(jì)（mba)

皮拉尼傳感器（0-9.99)

發(fā)生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

托盤

不銹鋼/鋁

實(shí)板/鏤空

層數(shù)

1-12（可選）

外形尺寸WDH（mm)

600x850x1700(2100)

電源

AC400 V / 16 A

真空泵抽氣速度

根據(jù)工藝選擇

選配件

單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵

 

關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
Tetra150
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