Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

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更新時間：2024-09-13 19:35:06瀏覽次數：168次

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上海爾迪儀器科技有限公司

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產品簡介

技術應用鏈接:特點：便捷的觸摸屏操作界面數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式異常報警功能自動/手動操作模式可切換儲存多套工藝程序遠程操控

詳細介紹

技術應用鏈接:

·便捷的觸摸屏操作界面

·數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠程操控，數據導出

·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大

型號		Tetra 100
控制系統	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系統	Windows CE	Windows 10
	觸摸屏	3.5/7”	7/15”
工藝氣體		O2 Ar N2 Air SF6 CF4等
工藝氣路		1-3路（可選）	1-10路（可選）
流量計		MFC /防腐型MFC
真空腔體		不銹鋼W400xD625xH400/100L 鋁合金W400xD625xH400/100L
電極	材質	鋁/不銹鋼電極
電極	層數（可選）	1-10（可選） 1-2層 1-5層
發生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
真空壓力計（mba)		皮拉尼傳感器（0-9.99)
托盤	不銹鋼/鋁	實板/鏤空
托盤	層數	1-10（可選）
外形尺寸WDH（mm)		600x850x1700(2100)
電源		AC400 V / 16 A
真空泵抽氣速度		根據工藝選擇
選配件		單體導入模塊、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵