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行業(yè)產(chǎn)品

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Diener 等離子表面處理儀 ATTO

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-09-13 14:39:02瀏覽次數(shù)：166次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)應(yīng)用鏈接:特點(diǎn)低壓等離子系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

特點(diǎn)

· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 10.5L腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· ８” Wafer去膠清洗

 

        

 

 

技術(shù)規(guī)格：

型號(hào)

ATTO

ATTO PCCE

控制系統(tǒng)

手動(dòng)控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路氣體

工藝氣體

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等

單體導(dǎo)入

H2O等單體（選配）

流量計(jì)

針閥流量計(jì)

MFC流量計(jì)

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃腔體，蓋子門帶觀察窗(石英，鉸鏈門選配)

內(nèi)尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容積

10.5L

電極

360度外置環(huán)繞電極

發(fā)生器*

 

40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空壓力計(jì)

指針式壓力計(jì)（選購(gòu)）

皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)

計(jì)時(shí)器

旋鈕式（選購(gòu)）

數(shù)字式

托盤

高硼硅玻璃（石英選配）W200xD260xH5mm

外形尺寸（WXDxH）mm

525x450xD450

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度8m3/H

 

關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
ATTO
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