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Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35

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更新時間：2024-09-12 21:45:07瀏覽次數：166次

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產品簡介

Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35

詳細介紹

技術應用鏈接:

技術數據：

 

·外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm

·腔室容積：約 35 升

·供電電源：230 V / 16 A

·氣體供給：3 個質量流量控制器 (MFC)

·真空腔室： 硼硅玻璃材質的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm

·濺射源： 1 個濺射源 2" - 3" + 擋板（針對反應性過程，可選配排煙管和進氣口）

·基材支架： ∅ 140 mm（可選擇旋轉型、基材加熱裝置、基材冷卻裝置）， 可切換為等離子預處理的電極（清洗、活化、蝕刻）

·控制系統：PC-控制系統 (Microsoft Windows XPe) 

·壓力測量裝置： Pirani

·真空泵： 不同規格，來自不同制造商（根據需要配備活性炭過濾器）

 

其他選項： 

·備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。

 

其它選項功能

·發生器頻率：    40 kHz：功率 0 - 500 W

·3.56 MHz：功率 0 - 300 W

·直流偏置電源或單極性脈沖

·功率為 300 W 電壓為 600 V DC

·發生器為 0 - 99% 無級可調型

未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加

  技術數據：

  • 外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
  • 腔室容積：約 35 升
  • 供電電源：230 V / 16 A
  • 氣體供給：3 個質量流量控制器 (MFC)
  • 真空腔室： 硼硅玻璃材質的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm
  • 濺射源： 1 個濺射源 2" - 3" + 擋板（針對反應性過程，可選配排煙管和進氣口）
  • 基材支架： ∅ 140 mm（可選擇旋轉型、基材加熱裝置、基材冷卻裝置）， 可切換為等離子預處理的電極（清洗、活化、蝕刻）
  • 控制系統：PC-控制系統 (Microsoft Windows XPe) 
  • 壓力測量裝置： Pirani
  • 真空泵： 不同規格，來自不同制造商（根據需要配備活性炭過濾器）
  • 其他選項： 備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。
  • 其它選項功能
  •  發生器頻率：    
  • 40 kHz：功率 0 - 500 W
  • 13.56 MHz：功率 0 - 300 W
  • 直流偏置電源或單極性脈沖
  • 功率為 300 W 電壓為 600 V DC
  • 發生器為 0 - 99% 無級可調型


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