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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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| 名稱 | 中型立式真空等離子清洗機 |
| 型號 | TS-PL30MA |
| 外形尺寸（W×H×D） | 650×400×750(mm) |
| 反應腔尺寸（W×H×D） | 300×300×300(mm) |
| 真空腔體材料 | 進口316不銹鋼 |
| 真空泵 | 進口品牌 |
| 角閥 | 北儀 |
| 流量控制器及顯示儀 | sevenstar |
| 真空顯示規管及讀取器 | Pirani |
| 射頻電源 | 美國品牌 13.56MHZ |
| PLC系統 | 三菱（包括PLC，A/D模組兩組，D/A模塊兩組，溫度模塊） |
| 電氣系統 | 施耐德 |
| 變頻器 | 西門子2KW |
| 觸摸屏 | 中國臺灣威綸 |
| 陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
| 處理氣體 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
中型等離子清洗機的優勢
等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經在眾多領域廣泛使用。相比傳統的一些清洗方 R-SD009 法，如超聲波清洗、UV 清洗、大氣等離子處理等，具有以下優點：
（A）處理溫度低 處理溫度可以低至 30℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面無造成熱影響。
（B）處理全程無污染 等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何 污染。可以與原有生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。
（C）處理效果穩定 真空等離子清洗的處理非常均勻穩定，效果比常壓等離子處理效果更好，常規樣品處理后較長時間 內保持效果良好。
（D）可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空 等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。
中型等離子清洗機性能優勢
? 電源：采用電源電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果
? 全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保 護功能
? 放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。
? 密封性的真空腔體設計：級的高真空度真空腔體設計及制造工藝，并配置進口技術 真空泵運行
? 優質產品部件：產品部件采用國內外優質品牌，確保設備性能*。
? 精密數控加工：進口精密 CNC 數控機床加工工藝，并經過進口三坐標測量儀進行質量監控
? 適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，均勻清洗。
中型等離子清洗機工藝流程 產品放置等離子真空室內關門→啟動離子源系統→到計時開門取出產品（重復工作）
中型立式真空等離子清洗機廣泛應用于： 1．等離子表面活化/清洗； 2.等離子處理后粘合； 3. 等離子蝕刻/活化； 4. 等離子去膠； 5. 等離子涂鍍(親水,疏水)； 6. 增強邦定性； 7.等離子涂覆；8.等離子灰化和表面改性等場 合。 通過其處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合 力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。
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