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深圳市東信高科自動化設備有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號TS-PL
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更新時間:2023-03-15 20:37:20瀏覽次數(shù):223次
聯(lián)系我時,請告知來自 智慧城市網(wǎng)產(chǎn)品介紹型號?低壓等離子清洗機等離子體發(fā)生器40Khz/13.56Mhz可選腔體尺寸2L、5L、10L、60L、110L、180L、200L、1000L可選真空泵干泵油泵可選低壓等離子清洗機介紹:真空等離子清洗機
型號 | ?低壓等離子清洗機 |
等離子體發(fā)生器 | 40Khz/13.56Mhz可選 |
腔體尺寸 | 2L、5L、10L、60L、110L、180L、200L、1000L可選 |
真空泵 | 干泵油泵可選 |
真空等離子清洗機,也叫低壓等離子清洗機,根據(jù)用途的不同,可選用多種構造的等離子清洗設備,并可通過選用不同種類的氣體,調整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實現(xiàn)化。但等離子體清洗裝置的基本結構大致是相同的,一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電極、氣體導入系統(tǒng)、工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵,高頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。
低壓等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理。
等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。
1、被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內的真空程度達到10 Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2 min。
2、向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100 Pa。根據(jù)清洗材質的不同,可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。
3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理工件,開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
4、清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及氣化的污垢排出,同時向真空室內鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。
等離子表面處理技術的特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實現(xiàn)整體和局部以及復雜結構的清洗。
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