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HET-1T多功能高精度二維材料

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2024-05-30 10:32:08瀏覽次數:140次

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產品簡介

HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉移系統HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉移系統關鍵詞:二維材料,干法,濕法,范德華適用于石墨烯,硫化鉬,黑磷等單層材料精確定點轉移,以及多層范德華異質結的制備

詳細介紹

HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉移系統

HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉移系統

關鍵詞:二維材料,干法,濕法,范德華

適用于石墨烯,硫化鉬,黑磷等單層材料精確定點轉移,以及多層范德華異質結的制備。
由于在制備多層異質結結構的二維半導體材料晶體管的過程中,需要將一層二維材料轉移到另一層二維材料上。在常規的大氣環境中進行轉移操作時,難免會遇到轉移后兩層材料中含有少量氣泡的問題;并且,某些二維材料會受到空氣中水和氧的影響,使得材料本身的性能下降。兩者使得器件性能大大下降。


1. 顯微轉移操作平臺:

a. 四軸可調襯底載物平臺: XY方向行程 20mm,轉移對位操作精度2μm;繞z 軸手動調節旋轉±90°,測微器精細調節,行程,調節精度0.5°左右; 繞x軸和y 軸傾斜臺,調節方式手動轉輪,臺面厚度20mm,傾斜角度±

b. 襯底載物平臺加熱系統:樣品臺加熱溫度為240 ℃,使用 PID 溫度控制器,溫度控制穩定性小于±1℃(穩定性≦±0.1℃),帶加熱開關。

c. 四軸可調載玻片移動平臺:載玻片 XYZ三軸可調,80mm高穩定性臺面,行程25mm,測微絲桿控制;Z軸為29mm直徑百刻線微分頭,便于精細升降操作;樣品送入手動旋轉臺,臺面直徑100mm,粗調旋轉范圍360°,細調旋轉范圍±,定位精度1~ 2°

d. 支持真空自動吸附樣品,確保轉移過程中目標樣品位置精確固定;真空泵電磁閥控制,按鈕控制是否吸附樣品;真空泵:25L-35L/min 流量;

e.雙邊載玻片夾具:輔助夾具片2片,夾具片75*25*1.5mm

f.集成控制機箱:集成機柜包括電源、顯微鏡LED控制、溫度控制、真空開關控制,工作電壓220V,輸出功率800W

2. 顯微成像光路系統:

a. 單筒顯微鏡:變倍比1:6.5,變倍范圍0.7X-4.5X,標準工作距離90mm,分辨率63-180lp/mm95mm超長工作距離20倍物鏡,綜合放大倍率850~900雙固定位設計,高倍放大下圖像無明顯抖動。

b. 白色LED照明:同軸照明系統,選用高亮度單顆1W LED,色溫5500K,照明均勻;LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器,可調光;

c. 顯微相機:1920x1080高靈敏度CMOS傳感器,30fps速度保存;支持HDMI相機直接輸出到顯示器;曝光時間0.4ms~999ms,自動白平衡;支持WIFI數據傳輸;提供顯微相機操作軟件,支持電腦控制,可軟件測量顯微樣品尺寸及角度;工作溫度-10~ 50攝氏度。

d. 顯微觀察支架:一體式高穩定性支架,長寬高240mm*100mm* 100mm重量20kg,支持沿 xy方向 50mm行程,可大范圍調節顯微鏡觀察位置;

e. 顯示器:24英寸1920*1200全高清專業顯示器。




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