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上海納騰儀器有限公司


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iMicro高精度微納米壓痕儀

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產品型號iMicro

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更新時間：2025-01-01 20:28:45瀏覽次數：98次

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產品簡介

iMicro高精度微納米壓痕儀

詳細介紹

KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器， iMicro高精度微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。

? 快速精準的動態納米壓痕測試

? 電磁加載方式

? 快速精準的位移測量

? 超高框架剛度

? 熱漂移 <0.05nm/s



關鍵詞：傳感器

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