上海伯東代理美國KRI 射頻離子源 RFICP 140

返回列表頁

參考價: ￥ 1320000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌其他品牌

廠商性質其他

所在地上海市

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：查看聯系方式

更新時間：2024-05-01 16:24:06瀏覽次數：123次

聯系我時，請告知來自智慧城市網

產品分類 品牌分類

  離子源

全部產品列表

  其他品牌

伯東企業（上海）有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：75條

所在地區：

詢價 給他留言

產品簡介

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.
離子束流: >600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.

詳細介紹

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.

離子束流: >600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.

采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.

非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕工藝.

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術參數:

型號	RFICP 140
Discharge	RFICP 射頻
離子束流	>600 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	14 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	5-30 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	24.6 cm
直徑	24.6 cm
中和器	LFN 2000