Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 可檢測分壓 3 X10^-15 hPa.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
可檢測分壓 3 X10^-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:

型號	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極桿直徑／長度	6 /125 mm
最小檢測極限 F hPa *^1,2	4X10^-13	5X10^-13	7X10^-13	-		-	-
最小檢測極限 M hPa *^1,2	-	-	-	3X10^-15		4X10^-15	5X10^-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*³	5X10^-4	4X10^-4	3X10^-4	5X10^-4		4X10^-4	3X10^-4
工作壓力 F hPa	5X10^-4
工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10^-5		5X10^-5	5X10^-5
對臨近質量數的影響^*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度電子	5 – 50 °C
烘烤溫度分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* ¹開放式離子源,
* ²停留時間 4秒
*³與C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:

Pfeiffer 殘余氣體分析儀結構視頻

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