一、數字式薄層電阻測試儀，四探針薄膜電阻測試儀主要特點：
儀器由主機、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結果由主機數碼管直接顯示。也可連接PC機由配套軟件在PC機上操作，其數據可由軟件顯示、分析、保存和打印！
主機主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統組成，自動轉換量程。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
二、基本技術參數
2.1測量范圍
電阻率：10-4～105Ω-cm
方塊電阻：10-3～106Ω/□
電阻：10-4～105Ω
2.2可測半導體材料尺寸
直 徑： Φ15～100mm, 長（或高）度： ≤400mm
2.3測量方位:
軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數字電壓表：
⑴量程： 200mV
⑵誤差：±0.1%讀數±2 字
2.5數控恒流源
⑴電流輸出：直流電流 0～100mA 連續可調，由交流電源供電。
⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
⑶誤差：±0.5%讀數±2 字
2.6四探針測試探頭
(1)探針間距 1mm
(2)探針壓力: 0～2kg 可調,*大壓力約 2kg
(3)探針：碳化鎢，Φ0.5mm
2.7.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功耗：<20W
外形尺寸：主機 260mm（長）×210 mm（寬）×125mm（高）
