簡要描述： D07-19BM氣體質(zhì)量流量計(jì),氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于對氣體質(zhì)量進(jìn)行精密測量。它將測量的氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積流量或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計(jì)具有低功耗、精度高、壽命長、重復(fù)性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。用測試氣體質(zhì)量的方法對氣體進(jìn)行流量測量，目前在國內(nèi)處于*地位。

詳細(xì)介紹

D07-19BM氣體質(zhì)量流量計(jì),氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器

簡介：

氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于對氣體質(zhì)量進(jìn)行精密測量。它將測量的氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積流量或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量。

氣體質(zhì)量流量計(jì)具有低功耗、精度高、壽命長、重復(fù)性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。用測試氣體質(zhì)量的方法對氣體進(jìn)行流量測量，目前在國內(nèi)處于地位。

D07-19BM氣體質(zhì)量流量計(jì),氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器主要特點(diǎn)：

★高精度，快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★兼容

用途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V

,氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

滿量程流量范圍(N₂)		5SCCM～30SLM
控制范圍		2～100％F.S.
閥類型(及閥初始狀態(tài))		電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)
準(zhǔn)確度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
線性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重復(fù)精度		±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間		≤4sec
工作溫度范圍		5～45℃
工作壓差	≤10SLM	0.1～0.5MPa
	＞10SLM	0.1～0.3MPa
耐壓		3MPa
漏氣率		1×10^-9SCCSHe
密封材料		氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠
接頭選擇	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
電插頭形式		DB15 pin(Male)
抗電磁干擾		CE
重量		0.95Kg

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