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1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統（CVD-TF）

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更新時間：2021-11-11 17:31:28瀏覽次數：668次

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天津市泰斯特儀器有限公司

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產品簡介

1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統（CVD-TF），提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環境，應用在半導體、納米技術、等纖維等領域，此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。優點爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節能50%以上自主研發的空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果啟動電爐，排溫風機同時自動運行，試驗結束后，排溫風機將繼續運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風機自行停止，有效保護了爐體表面爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性安全性過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。采用單向閥技術，使氣體流量在可控壓力范圍內控制，保證安全。采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導入工作室內，確保不會泄露。

詳細介紹

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環境，應用在半導體、納米技術、等纖維等領域

此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。

爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節能50%以上

自主研發的空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

啟動電爐，排溫風機同時自動運行，試驗結束后，排溫風機將繼續運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風機自行停止，有效保護了爐體表面

爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性

電路采用連續加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統的穩定性

加熱模塊采用直流信號調節輸出功率，避免了感應電對控制信號的干擾

操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態指示燈，操作安全直觀

上下爐體采用航空插頭連接方式，連接安全可靠方便

氣路總成采用食品級316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好，無磁性

采用數顯流量顯示儀，配合質量流量控制器，采集數據并控制流量。具有控制精度高，重復性好，相應速度快，穩定可靠等特點。（氣體質量流量控制系統）

自動控制與手動控制切換功能，自動控制模式能通過設定值自動開啟/關閉真空泵，使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。（中真空控制系統）

電磁閥緩啟動技術，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使爐管內系統壓力保持準確，也保證了廢氣不會返回到爐管系統影響實驗效果（中真空控制系統）

■安全性：

過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。

采用單向閥技術，使氣體流量在可控壓力范圍內控制，保證安全。

采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導入工作室內，確保不會泄露。

■ 技術參數

溫區		單溫區				雙溫區
型號		CVD-TF16P50	CVD-TF16P60	CVD-TF16P80	CVD-TF16P100	CVD-TF16P60S	CVD-TF16P80S	CVD-TF16P100S
		CVD-TF16T50	CVD-TF16T60	CVD-TF16T80	CVD-TF16T100	CVD-TF16P60S	CVD-TF16T80S	CVD-TF16T100S
性能	使用溫度范圍	300~1600℃
	溫度分辨率	1℃
	控溫精度	± 1℃
	升溫速率	0~20℃/min
	加熱區長度	260mm				600mm
	恒溫區長度	120mm				300mm
	真空度	-0.1MPa
	空爐升溫時間	＜15min
構成	外裝	冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
	爐膛體	多晶莫來石纖維
	爐膛尺寸	440390330				780390330
	爐管	剛玉管
	爐管尺寸	φ50*1000	φ60*1000	φ80*1000	φ100*1000	φ60*1200	φ80*1200	φ100*1200
	加熱器	硅鉬棒
	加熱功率	4KW		4KW		10KW	10KW
	斷熱層	雙層強制風導流
控制器	控制器	P：進口程序控溫數碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫
	控制方式	使用微型電腦PID控制 / S型雙溫區單獨控溫
	設定方式	P：輕觸五按鍵動作、數顯設定； T：手指觸摸輕點設定
	顯示方式	P：雙行LED數字顯示； T：彩色液晶屏顯示
	定時	0~999.9小時
	運行功能	定值運行、程序運行
	程序模式	P：程序運行、4條曲線、共40步； T：50步可調用儲存程序
	傳感器	S型熱電偶
	附屬功能	P：校正功能； T：校正功能、實時曲線記錄、U盤數據導出
	安全裝置	過流漏電保護開關				過流保護開關
質量流量控制系統	氣路數量	3路（可根據具體需要選配氣路數量）
	流量范圍	0-0500sccm（標準毫升/分，可選配）氮氣標準
	精度	±1%F.S
	響應時間	≤4s
	工作溫度（流量計）	5-45℃
	工作壓力	進氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力）
	系統連接方式	采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀
中真空	系統真空范圍	10-100Pa
控制系統	真空泵	雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw
	CVD系統配置	1600度真空管式爐（可選配單溫區、雙溫區）多路質量流量控制系統真空系統