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ARS超穩超低振動型低溫探針臺

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更新時間：2021-11-06 14:13:33瀏覽次數：402次

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天津多為萊博科技有限公司

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產品簡介

詳細介紹

ARS納米級超穩超低振動型低溫探針臺的設計具有極大的靈活性，可用于無損器件測試。探針配置和系統設計可以根據您的具體實驗要求進行定制。系統標準溫度配置為低溫5K，可選450K和800K高溫度選項。

探針臺采用ARS閉式循環制冷機，ARS制冷機為氣動驅動GM制冷機，它具有一級冷臺制冷能力高和固有的低振動相結合的特點，使其成為納米科學和敏感器件測量的理想選擇。 ARS探針臺都采用高質量的真空元件，高拋光的不銹鋼真空腔室和鍍鎳的高純銅輻射屏蔽提供了干凈的樣品環境。低發射率和高導熱率的鍍鎳和銅防熱輻射屏使樣品臺具有更大的冷卻能力。

ARS不僅是探針臺的生產商，也是制冷機的生產商，這確保了集成制造的一致性，并能對系統提供整體的售后保障。

應用案例：

• 電磁特性

• 微波特性

• 低頻，高頻特性

• MEMS

• 納米電子學

• 超導特性

• 納米器件光電性能

• 量子點及納米線

• 單電子

• 低電流物理特性

特點	備注
溫度范圍：< 6K-350K
振動優于50納米
10英寸不銹鋼真空室
7英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏
2.25英寸鍍金無氧銅樣品臺
高純石英觀察窗
藍寶石防熱輻射屏冷窗
多至6個三維微操作探針臂
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂
控溫系統：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器	溫度計安裝位置： 1、冷頭溫度計，用于診斷 2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現精確控溫 3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度 4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現快速換樣
7:1顯微觀測系統，3微米分辨率，環形光源	可升級16:1顯微觀察系統
規格及技術參數
制冷方式	閉循環制冷，無需液氦
溫度范圍	6K-350K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度 < 4K,安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K）
溫度穩定性	優于50mK
泵抽真空時間	機械泵約45分鐘分子泵約10分鐘
降溫時間	約4小時至10K（DE2010S冷頭）
真空腔	不銹鋼真空腔直徑10英寸上蓋安裝高純石英窗口
防熱輻射屏	鍍鎳無氧銅防熱輻射屏直徑7英寸上蓋藍寶石冷窗熱連接至1級冷頭
樣品臺	鍍金無氧銅樣品臺 2.25英寸直徑
樣品臺連接	接地（標準）絕緣（可選）偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選）偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選）
探針臂位移臺	手動驅動不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標準） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米靈敏度5微米
振動	氦氣減震，< 30-50納米（峰對峰）
溫度計安裝	4個溫度計，2套加熱器 4個溫度計位置： 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型DT-670-CU-4M溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫
顯微觀測系統	標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野工作距離：89毫米數值孔徑：0.024-0.08 光源：環形光源分辨率：3微米安裝手動三維位移臺高分辨率24英寸顯示器可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野工作距離：89毫米數值孔徑：0.0090-0.15 光源：環形光源分辨率：2微米安裝手動三維位移臺高分辨率24英寸顯示器
探針臂
直流/低頻探針臂	微型同軸電纜接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲阻抗：50歐姆包含接地屏蔽接頭三同軸電纜接頭：三同軸接頭頻率：0-100兆赫茲阻抗：50歐姆卡爾文探針電纜：同軸或三同軸接頭：SMA/BNC/三同軸頻率：0-100兆赫茲針尖材料：鎢針（標準）鍍金鎢針（可選）鈹銅鍍金（可選）針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選）
GSG高頻探針臂	0-40GHz 接頭：K型接頭電纜：半剛性同軸電纜針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜針尖：鎢針或鈹銅針尖
光纖探針臂	紫外/可見或可見/紅外接頭：SMA905公頭光纖樣品端：拋光裸頭尺寸：100微米-400微米單模或多模