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ARS閉循環低溫真空探針臺

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更新時間：2021-11-06 14:10:24瀏覽次數：433次

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天津多為萊博科技有限公司

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產品簡介

詳細介紹

美國ARS 公司的PS-CC閉循環探針臺用于樣品的非破壞性檢測，測試靈活，廣泛應用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。

該款探針臺使用DE204、DE210或DE215系列冷頭，整個測試過程中無需使用任何制冷劑（液氦/液氮）。可根據不同測試要求，選用不同型號冷頭，以便樣品溫度到達13K、<10K、7K或<4K。所有的ARS閉式循冷頭均采用高制冷量的一級冷頭，該設計可使系統快速降溫并降低系統熱負載。氣動驅動GM冷頭一級制冷量高，固有振動小，是該領域的理想選擇。

該系統為科研工作者提供一個大的、潔凈的樣品環境。真空腔由焊接不銹鋼制成，防熱輻射屏由鍍鎳的無氧銅OFHC制成。鎳鍍層的低輻射率和無氧銅的高熱傳導使得樣品空間的防熱輻射屏溫度更低凈制冷量更大。高質的真空器件至關重要，可以使樣品獲得更高的真空環境，更潔凈的表面，更好的電接觸。

ARS既生產冷頭又生產探針臺的一站式生產確保了該產品的穩定性能，也利于系統的診斷和服務。

上圖為探針臺樣品區

上圖為定制的樣品座及4個DC探針

特點	備注
溫度范圍：7K-400K
10英寸不銹鋼真空室
8英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏
2.25英寸鍍金無氧銅樣品臺	可升級4英寸樣品臺
高純石英觀察窗
藍寶石防熱輻射屏冷窗
多至6個三維微操作探針臂
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂
控溫系統：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器	溫度計安裝位置： 1、冷頭溫度計，用于診斷 2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現精確控溫 3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度 4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現快速換樣
三級減振系統樣品臺綜合振動 < 1微米	樣品臺振動 < 100nm
7:1顯微觀測系統，3微米分辨率，環形光源	可升級16:1顯微觀察系統
規格及技術參數
制冷方式	閉循環制冷，無需液氦
溫度范圍	7K-400K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度<4K,安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K）
溫度穩定性	優于50mK
泵抽真空時間	機械泵約45分鐘分子泵約10分鐘
降溫時間	約2到2.5小時（DE204P冷頭）
真空腔	不銹鋼真空腔直徑10英寸上蓋安裝高純石英窗口
防熱輻射屏	鍍鎳無氧銅防熱輻射屏直徑8英寸上蓋藍寶石冷窗熱連接至1級冷頭
樣品臺	鍍金無氧銅樣品臺 2.25英寸直徑
樣品臺連接	接地（標準）絕緣（可選）偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選）偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選）
探針臂位移臺	手動驅動不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標準） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米靈敏度5微米
振動	三級減振，樣品臺綜合振動優于1微米
溫度計安裝	4個溫度計，2套加熱器 4個溫度計位置： 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型DT-670-CU-4M溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫
顯微觀測系統	標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野工作距離：89毫米數值孔徑：0.024-0.08 光源：環形光源分辨率：3微米安裝手動三維位移臺高分辨率24英寸顯示器可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野工作距離：89毫米數值孔徑：0.0090-0.15 光源：環形光源分辨率：2微米安裝手動三維位移臺高分辨率24英寸顯示器
探針臂
直流/低頻探針臂	微型同軸電纜接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲阻抗：50歐姆包含接地屏蔽接頭三同軸電纜接頭：三同軸接頭頻率：0-100兆赫茲阻抗：50歐姆卡爾文探針電纜：同軸或三同軸接頭：SMA/BNC/三同軸頻率：0-100兆赫茲針尖材料：鎢針（標準）鍍金鎢針（可選）鈹銅鍍金（可選）針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選）
GSG高頻探針臂	0-40GHz 接頭：K型接頭電纜：半剛性同軸電纜針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜針尖：鎢針或鈹銅針尖
光纖探針臂	紫外/可見或可見/紅外接頭：SMA905公頭光纖樣品端：拋光裸頭尺寸：100微米-400微米單模或多模