進口高真空插板閥工作原理及性能
一、真空插板閥的原理
真空插板閥的工作原理是閥通過閥桿的左右或上下運動,將閥板與閥座壓緊實現密封。驅動閥桿運動的方式有手動、電動、氣動三種。手動是通過手輪的旋轉,帶動閥桿和閥桿上的螺母或四桿連動式的閥桿使閥板運動。此時裝有行程開關而自動切斷電源,運動立即停止。反之,若需打開閥門時,只需按反轉電鈕即可。手動時,只需松開手輪背帽,按一定方向用手轉動手輪即可。
圖為CC型手動超高真空插板閥圖形。該閥結構合理,閥板與閥體密封時漏氣速率小于1×10-7Pa·L/s;閥門總漏氣速率小于5×10-8Pa·L/s;閥板開啟時閥體烘烤溫度小于150℃;手動裝置允許受熱溫度小于65℃;工作穩定可靠,操作方便。
超高真空插板閥有手動(CC型)、氣動(CCQ型)和電動(CCD型)三種(三種類型均有進口品牌美國FAWKES福克斯提供)
超高真空插板閥主要用于超高真空系統中接通或截止氣流。適用的介質為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體;適用溫度在閥門開啟時,閥體允許烘烤溫度小于150℃。
由于真空插板閥具有流導大,密封性能好,放氣率低,體積小,結構緊湊、合理,操作方便,安裝位置可任意選擇等一系列優點,因此真空插板閥廣泛用于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統中。