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遠為國際貿易(無錫)有限公司
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ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1

參   考   價: 2000

訂  貨  量: ≥1  盒

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地無錫市

更新時間:2023-03-27 16:37:43瀏覽次數:266次

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ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1
的微粒過濾

高純度氣體系統過濾

對于超純氣體系統,您的是

帶有顆粒的 Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器

去除率≥0.0015 µm。 推薦給

惰性和反應性氣體,這些過濾器提供出色的

與所有類別的半導體兼容

工藝氣體。

其緊湊的直徑使其易于安裝在

狹窄的氣體面板和櫥柜。

應用



? 臭氧應

ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1

ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1

的微粒過濾

高純度氣體系統過濾

對于超純氣體系統,您的是

帶有顆粒的 Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器

去除率≥0.0015 µm。 推薦給

惰性和反應性氣體,這些過濾器提供出色的

與所有類別的半導體兼容

工藝氣體。

其緊湊的直徑使其易于安裝在

狹窄的氣體面板和櫥柜。

應用

• 臭氧應用(氣體)

• 氣柜

• 超純氣體系統

• 氣體面板

• 內部流程工具

特點與優勢

• 占地面積小,具有

最大直徑 19.05

mm (0.75") 允許安裝

即使空間有限

• 低壓降降低

冷凝的風險

低蒸氣壓氣體

• 潔凈室制造,

焊接和測試高

可靠性

• Teflon® PTFE 膜

提供高效率

過濾

材料 過濾元件 疏水 Teflon® PTFE 膜支持

通過模壓聚四氟乙烯 PFA 結構

外殼 電拋光 VAR 316L 不銹鋼

下游清潔度 小于 0.03 個顆粒/升(<1 個顆粒/英尺

3

) 大于 0.01 µm

揮發物 <10 ppb 水分

去除率 ≥0.0015 µm

內部表面光潔度 ≤7 µin Ra

氦泄漏等級 合格 2 × 10?-10 cc-sec

經測試 1 × 10?-9 cc-sec

操作條件 最大入口壓力:

207 巴; (3000 psig) @ 23°C (73°F)

最大正向壓差:

4條; (60 psid) @ 23°C (73°F)

最大反向壓差:

0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)

最高工作溫度:

120°C (248°F)

顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒@30 slpm

(穿透性的粒徑為參考)

流量等級 參考性能數據

工作原理

Dynisco EchoTM 熔體壓力傳感器用于對熔融聚合物進行壓力測量,最高可達

752°F (400°C)。這些型號包含一個 350 歐姆的粘合箔應變計惠斯通電橋。這證明

技術提供與熔體壓力成比例的 0-3.33 mV/V、4-20mA、05-VDC 和 0-10VDC 輸出

(在的誤差范圍內)。大多數型號包括一個內部分流校準(“Rcal")功能,用于

模擬滿量程的 80% 的信號。這消除了對繁瑣的校準壓力源的需要,當

縮放相關的儀器。

安裝

在準備安裝之前不要取下保護蓋。

在初始安裝之前,按照圖 1 驗證安裝孔的正確加工。量規塞,P/N 200908,是

可用于此目的。

安裝前確保安裝

孔沒有材料。動力清潔

應使用工具包 P/N 200100。

為防止磨損,輕輕涂抹換能器

帶高溫防卡劑的螺紋

材料。一個適當的密封,在一個適當的

加工和維護安裝良好,是

用 100 in-lbs 獲得。安裝扭矩。

推薦的最大扭矩為 500

磅數

電子外殼應固定,

帶有可選的安裝支架(P/N

200941),在環境

溫度不會超過 185°F (85°C)。

(安裝支架不隨 EchoTM 提供

楷模。)


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