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ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1
的微粒過濾
高純度氣體系統過濾
對于超純氣體系統,您的是
帶有顆粒的 Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器
去除率≥0.0015 µm。 推薦給
惰性和反應性氣體,這些過濾器提供出色的
與所有類別的半導體兼容
工藝氣體。
其緊湊的直徑使其易于安裝在
狹窄的氣體面板和櫥柜。
應用
—
• 臭氧應用(氣體)
• 氣柜
• 超純氣體系統
• 氣體面板
• 內部流程工具
特點與優勢
—
• 占地面積小,具有
最大直徑 19.05
mm (0.75") 允許安裝
即使空間有限
• 低壓降降低
冷凝的風險
低蒸氣壓氣體
• 潔凈室制造,
焊接和測試高
可靠性
• Teflon® PTFE 膜
提供高效率
過濾
材料 過濾元件 疏水 Teflon® PTFE 膜支持
通過模壓聚四氟乙烯 PFA 結構
外殼 電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 小于 0.03 個顆粒/升(<1 個顆粒/英尺
3
) 大于 0.01 µm
揮發物 <10 ppb 水分
去除率 ≥0.0015 µm
內部表面光潔度 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級 合格 2 × 10?-10 cc-sec
經測試 1 × 10?-9 cc-sec
操作條件 最大入口壓力:
207 巴; (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差:
4條; (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓差:
0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度:
120°C (248°F)
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒@30 slpm
(穿透性的粒徑為參考)
流量等級 參考性能數據
工作原理
Dynisco EchoTM 熔體壓力傳感器用于對熔融聚合物進行壓力測量,最高可達
752°F (400°C)。這些型號包含一個 350 歐姆的粘合箔應變計惠斯通電橋。這證明
技術提供與熔體壓力成比例的 0-3.33 mV/V、4-20mA、05-VDC 和 0-10VDC 輸出
(在的誤差范圍內)。大多數型號包括一個內部分流校準(“Rcal")功能,用于
模擬滿量程的 80% 的信號。這消除了對繁瑣的校準壓力源的需要,當
縮放相關的儀器。
安裝
在準備安裝之前不要取下保護蓋。
在初始安裝之前,按照圖 1 驗證安裝孔的正確加工。量規塞,P/N 200908,是
可用于此目的。
安裝前確保安裝
孔沒有材料。動力清潔
應使用工具包 P/N 200100。
為防止磨損,輕輕涂抹換能器
帶高溫防卡劑的螺紋
材料。一個適當的密封,在一個適當的
加工和維護安裝良好,是
用 100 in-lbs 獲得。安裝扭矩。
推薦的最大扭矩為 500
磅數
電子外殼應固定,
帶有可選的安裝支架(P/N
200941),在環境
溫度不會超過 185°F (85°C)。
(安裝支架不隨 EchoTM 提供
楷模。)
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