詳細介紹
德國 PI XY 定位系統 A-322
分辨率為1納米的XY定位系統
掃描應用的完美選擇或精密定位
行程達500毫米 × 1000毫米
分辨率達1納米
無塵室兼容
負載容量達245牛
速度高達2毫米/秒
PIglide參考級XY定位系統
PIglide HS平面掃描儀帶磁性線性電機、真空預載和編碼器:非接觸式無摩擦運動可實現精度和可靠性。
編碼器
編碼器提供明確的位置信息,幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位,提高了操作過程中的效率和安全性。
PIMag®磁力直接驅動
三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件,其可直接將驅動力傳輸至運動平臺,且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務,因為其不會與性磁鐵發生不良作用。這樣即使在*的速度下也能保持平穩的運行,同時,在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。
定位系統設計用于將產出*的同時確保精度。橋軸至龍門軸的撓性聯軸器可實現側向解耦,不會犧牲系統的剛性。
利用來自制造商的數字控制器,操作可提供高級控制算法,以改善動態性和誤差補償。
附件和可選配件
PIglide過濾器和空氣預處理器
額外的軸
機器底座
花崗巖底座板和隔振系統
應用領域
PIglide定位系統非常適用于高精度應用,諸如計量、光子學和精密掃描以及半導體或平板顯示器制造中的應用。
由于運動無摩擦,不會形成顆粒,PIglide平臺非常適用于無塵室應用。
德國 PI XY 定位系統 A-322
訂購信息:
A-322.AB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,350 mm×350 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
A-322.BB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,350 mm×500 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
A-322.CB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,500 mm×500 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
A-322.DB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,500 mm×1000 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V