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德國 PI XY 定位系統 A-322

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更新時間:2024-09-02 10:19:42瀏覽次數:716

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產品簡介

德國 PI XY 定位系統 A-322:分辨率為1納米的XY定位系統,掃描應用的完美選擇或精密定位,行程達500毫米 × 1000毫米,分辨率達1納米,無塵室兼容,負載容量達245牛,速度高達2毫米/秒

詳細介紹

 德國 PI  XY 定位系統 A-322

 

分辨率為1納米的XY定位系統

掃描應用的完美選擇或精密定位

行程達500毫米 × 1000毫米

分辨率達1納米

無塵室兼容

負載容量達245牛

速度高達2毫米/秒

 

PIglide參考級XY定位系統

PIglide HS平面掃描儀帶磁性線性電機、真空預載和編碼器:非接觸式無摩擦運動可實現精度和可靠性。

 

編碼器

編碼器提供明確的位置信息,幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位,提高了操作過程中的效率和安全性。

 

PIMag®磁力直接驅動

三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件,其可直接將驅動力傳輸至運動平臺,且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務,因為其不會與性磁鐵發生不良作用。這樣即使在*的速度下也能保持平穩的運行,同時,在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。

 

定位系統設計用于將產出*的同時確保精度。橋軸至龍門軸的撓性聯軸器可實現側向解耦,不會犧牲系統的剛性。

利用來自制造商的數字控制器,操作可提供高級控制算法,以改善動態性和誤差補償。

 

附件和可選配件

PIglide過濾器和空氣預處理器

額外的軸

機器底座

花崗巖底座板和隔振系統

 

應用領域

PIglide定位系統非常適用于高精度應用,諸如計量、光子學和精密掃描以及半導體或平板顯示器制造中的應用。

由于運動無摩擦,不會形成顆粒,PIglide平臺非常適用于無塵室應用。

 

德國 PI  XY 定位系統 A-322

 

訂購信息:

A-322.AB1  PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,350 mm×350 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V

A-322.BB1  PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,350 mm×500 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V

A-322.CB1  PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,500 mm×500 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V

A-322.DB1  PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,500 mm×1000 mm行程,編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V

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