PI  A-311 高精度PIglide IS平面掃描儀

   高性能，緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

   掃描應用的完美選擇或精密定位

   行程達200 毫米 × 200 毫米

   低外形

   無塵室兼容

   負載容量達147 牛

   分辨率達1納米

   產品概述

   帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設計，可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設計安裝空間有限，能夠節(jié)省機械空間。

   PIMag®磁力直接驅動

   三相磁性直接驅動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在*的速度下也能保持平穩(wěn)的運行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。

   利用來自制造商的數字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動態(tài)性和誤差補償。

   附件和可選配件

   編碼器

   PIglide過濾器和空氣預處理器

   多軸運動控制器和直接驅動器

   機器底座

   花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

PI  A-311 高精度PIglide IS平面掃描儀

   應用領域

   PIglide 定位系統(tǒng)特別適合高精度應用，例如檢測系統(tǒng)、激光打標、顯微鏡或掃描。

   訂購信息

   A-311.AA1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.AB1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.BA1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.BB1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.CA1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.CB1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.DA1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機，48伏

   A-311.DB1

   PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏