半導體企業(yè)怎么處理酸堿性廢氣1572049-00-05
半導體酸堿性廢氣:
工藝流程: 酸/堿性廢氣→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪(達標排放)
半導體有機類廢氣VOCs
收集廢氣→沸石轉輪吸附裝置→TO直燃式焚燒爐
同時整套裝置安q、可靠、無任何二次污染。
由于半導體行業(yè)對操作室清潔度要求高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。
半導體企業(yè)怎么處理酸堿性廢氣1572049-00-05
??半導體車間廢氣處理設備選擇標準:
??(1)半導體生產車間廢氣處理設備的挑選是依據(jù)待消除廢氣的種類、濃度值、流量和壓力,節(jié)能減排設備的處理水平,綜合性考慮到農藥的壽命、先后與設備的關系等各種狀況,挑選合適的處理辦法和設備。
??(2)半導體生產車間廢氣處理設備在混合時將會爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應該是一個獨立的系統(tǒng)。
??(3)將會有自燃性廢氣或可燃氣流動的排風管路選用不燃性材料。
??(4)不可以讓半導體生產車間廢氣處理設備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動,或準許大量廢氣流動超出廢氣處理設備的處理水平。
??半導體生產車間廢氣處理設備的特點:
??1.半導體生產車間廢氣處理設備應用領域廣。吸附式尾氣處理設備基本上可處理全部小流量的廢氣。
??2.半導體生產車間廢氣處理設備無廢氣造成。可以通過吸附桶全處理設備尾氣,不用耗用水源,并沒有廢水處理難題;
??3.半導體生產車間廢氣處理設備隱患少。處理時,并沒有明火,在無塵室內不造成火源;
??4.半導體生產車間廢氣處理設備節(jié)約能源。并沒有高能耗的需求。