3BSE078824R1 ABB

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CPU分別安裝在兩個機架上，互為熱備用，先上電的CPU為主。為了避免同時失電，兩個機架的電源分別取自廠用電和UPS電源。兩個CPU中的程序*一樣，采集信息、處理程序、發出命令由主CPU完成，備用CPU在實時跟蹤主CPU工作。一旦主CPU失電或者通訊中斷，備用CPU將代替主CPU繼續完成工作。主機通過以太網同PC機相連進行數據交換，其下面帶的3個本地I/O機架通過ControlNet網與主站相連（ControlNet網為冗余配置），由CPU通過判斷采集的輸入信號，經過預先編制好的程序進行運算處理后，再通過輸出模塊發出命令，來達到控制的目的。

Advanced Energy 3150273-004

MRC 42-340121-5-000?032

AMAT 0040-91661

AMAT 1270-00636

Mitsubishi MR-J2S-20B

Tescom 72-2461 KRN20

NIBCO 922275-003 CFS Rev.1, PVC-I NSF-PW D2467 

Saint-Gobain Norton 3413899R, 311504-N

Nichias Tombo MH3-008390-D

Novellus 15-271403-00

Novellus 17-029886-00

AMAT 0010-03372

Novellus 15-11606-00 Rev.B

               CDI 751LDIN

Novellus 03-152423-00

Novellus 03-155152-00 Rev.A, A8P7

Novellus 17-287141-00

Entegris UE4FN-1, 100042059

Novellus 17-283255-00

XP Power AHM150PS24

Novellus 17-155513-00

Applied Ceramics 91-00308A

Banner LR300-26542

Novellus 10-306575-00

Novellus 10-166693-00

Cole-Parmer Instrument Company 04639-Series, 04639-00

AMAT 3300-02467

Parker FAFS-48-T, 70938-65

AMAT 3300-09811

AMAT 0020-19882

AMAT 1010-01048

Kensington Laboratories, 25-3600-0300-02

ASM 260-00035-AA, PCB, PWB 360-00035-02