羅門(mén)哈斯UP6040是專(zhuān)為超純水及特殊水處理設(shè)計(jì)的不再生型終端精制混床樹(shù)脂。此樹(shù)脂的使用,使得所有種類(lèi)的離子,如二氧化硅、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量。由于為不再生型,此新種類(lèi)的半導(dǎo)級(jí)混床樹(shù)脂不會(huì)受到再生系統(tǒng)的影響,并可在采水中發(fā)揮特性。 UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。
一、羅門(mén)哈斯拋光樹(shù)脂 UP6040應(yīng)用及特性
在半導(dǎo)體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的,復(fù)雜的系統(tǒng),并包含了許多不同的單元,而整個(gè)系統(tǒng)的功能及設(shè)計(jì)主要是為了得到超純水。雖然沒(méi)有任何單一的單元可以確保采水水質(zhì),但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的一道化學(xué)精制的處理程序,其重要性是不可忽視的。不像對(duì)化學(xué)物質(zhì)呈惰性的管路及過(guò)濾材料,離子交換樹(shù)脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物,所有的待處理水會(huì)*的通過(guò)樹(shù)脂,因此精制混床樹(shù)脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的一道防線。除此之外,這些樹(shù)脂絕不能釋出任何物質(zhì),進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因?yàn)檫@些嚴(yán)格的條件,終端精制混床樹(shù)脂必須是高的品質(zhì),且同時(shí)必須是準(zhǔn)確的被使用的。
二、羅門(mén)哈斯拋光樹(shù)脂 UP6040工作交換容量
與一般的離子交換樹(shù)脂應(yīng)用相比較,交換容量在超純水系統(tǒng)的終端精制混床應(yīng)用上并不是主要的因素,因?yàn)榫苹齑驳娜胨|(zhì)所殘余的不純物,應(yīng)該已是ppb的范圍。因此終端精制混床樹(shù)脂床的設(shè)計(jì),是在不超過(guò)樹(shù)脂的離子交換速率范圍內(nèi),以流量及床體接觸時(shí)間為主要的參考數(shù)據(jù)。
三、羅門(mén)哈斯拋光樹(shù)脂 UP6040流量及壓差
流量是非常重要的設(shè)計(jì)參數(shù)。對(duì)終端精制混床樹(shù)脂而言,體積流量不應(yīng)低于30BV/h(3.8gpm/ft3)。在流量高達(dá)50BV/h(6.3gpm/ft3)的操作條件下,也是經(jīng)常所采用的設(shè)計(jì),且證明可得到的結(jié)果,在某些系統(tǒng),所設(shè)計(jì)的流量更是略高過(guò)此數(shù)據(jù)。因此流量的設(shè)計(jì)是由具經(jīng)驗(yàn)的超純水處理系統(tǒng)制造商,依系統(tǒng)的供水純度要求及工程參數(shù)之間,折衷權(quán)衡后所獲得的選擇。而 UP6040可以滿足這些設(shè)計(jì)中,對(duì)終端精制混床樹(shù)脂的所有要求。
四、羅門(mén)哈斯拋光樹(shù)脂 UP6040
在 UP6040的制造過(guò)程中,已嚴(yán)格的控制并減少?gòu)臉?shù)脂內(nèi)所釋放出的TOC總量。雖然使用了純凈的、預(yù)先混合及不易分離的超純水等級(jí)的離子交換樹(shù)脂,以得到較少的TOC泄漏量,但是由于儲(chǔ)存、運(yùn)送、樹(shù)脂的拿取及加載桶槽等程序,仍會(huì)造成采水初期短暫的TOC泄漏釋出。在適切的儲(chǔ)存及正確的樹(shù)脂拿取及加載程序下,此TOC的釋放并不會(huì)持續(xù)太久的時(shí)間。大部份的情形下, UP6040可在6個(gè)小時(shí)的清洗時(shí)間內(nèi),將TOC的泄漏量減少至1.0ppb以內(nèi)。
羅門(mén)哈斯公司針對(duì)UP6040測(cè)試了電阻值、總有機(jī)碳值及離子交換速率的特性,保證每批次的羅門(mén)哈斯拋光樹(shù)脂AMBERJET UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴(yán)苛的特性參數(shù),并可滿足使用單位的需求。
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