真空潔凈機械手臂

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更新時間：2019-11-07 14:18:33瀏覽次數：723次

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北京銳潔機器人科技有限公司

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產品簡介

真空潔凈機械手臂可以使用在高真空環境里，能夠在真空環境下完成晶圓或者托盤等的傳輸。和大氣潔凈機械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來實現運動機構的動力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。

詳細介紹

真空潔凈機械手臂可以使用在高真空環境里，能夠在真空環境下完成晶圓或者托盤等的傳輸。和大氣潔凈機械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來實現運動機構的動力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。這幾種方式中，磁流體密封裝置的應用較為廣泛，同時也被廣泛使用的特種橡膠圈密封裝置具有價格便宜，便于維護的優點，而真空電機方式為的真空動力導入方式，具有潔凈度高，放氣量少的優點。

真空潔凈機械手臂具有良好的性價比優勢，做工精良，性能穩定可靠，被廣泛應用于半導體，LED生產設備中的刻蝕設備，PVD設備以及CVD設備等。已經成功進入了中國大陸市場，獲得了中國客戶的*認可。在半導體芯片生產設備上的實際應用案例。位于真空腔室的*，通過真空機械手臂自帶的安裝法蘭和真空腔室對接。真空機械手臂的安裝法蘭和真空腔室之間一般使用氟橡膠O型圈來實現真空密封，特殊的情況也可以使用金屬密封圈。金屬密封圈適用于高溫或者高真空環境，但是也會帶來安裝和維護方面的難度。