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2寸晶圓對(duì)應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：3691次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

2寸晶圓對(duì)應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。有利于傳輸模塊、真空傳輸腔室的小型化

詳細(xì)介紹

2寸晶圓對(duì)應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。有利于傳輸模塊、真空傳輸腔室的小型化；

  • 業(yè)內(nèi)小尺寸設(shè)計(jì)，有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化
  • 相對(duì)我司標(biāo)準(zhǔn)大氣校準(zhǔn)器：占地面減小80%（方形85x100 mm），體積減小80%
  • 通過(guò)不同的組合，能夠?qū)?yīng)多樣的搬運(yùn)需求
  • 可用于透明、半透明材質(zhì)的晶圓

2寸晶圓對(duì)應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

檢測(cè)設(shè)備，PE-CVD設(shè)備，LED生產(chǎn)設(shè)備

規(guī)格

被搬運(yùn)物2寸硅片晶圓
位置精度晶圓中心：±0.3mm以內(nèi)
切邊定位范圍：±0.3度以內(nèi)
位置確定所需時(shí)間定位晶圓中心：大體10 sec
傳感器缺邊檢測(cè)Sensor
晶圓吸附方式校準(zhǔn)時(shí)：通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)的邊緣夾持機(jī)構(gòu)固定晶圓
缺邊檢測(cè)時(shí)：Spindle上的晶圓通過(guò)真空吸附方式固定
潔凈度ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
動(dòng)力使用1臺(tái)2相步進(jìn)電機(jī)（電機(jī)驅(qū)動(dòng)器內(nèi)置）
廠務(wù)電源：DC24V±10% 2A   正壓：0.15～0.5 MPa（用處是握柄居中機(jī)構(gòu)）
真空：優(yōu)于-70 kPa（切邊定位范圍）


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