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SAL3000HV系列晶圓校準器

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：2611次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

SAL3000HV系列晶圓校準器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準功能。

詳細介紹

SAL3000HV系列晶圓校準器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準功能。

使用了新技術(shù)的可用于多種材質(zhì)晶圓的新產(chǎn)品
 

  • 可適用于硅片，帶BG膠帶（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圓等不同材質(zhì)晶圓的位置校準
  • 使用自主研發(fā)的圖像識別傳感器，采用了控制器和電機驅(qū)動器集成到設備本體內(nèi)部的一體化設計
  • 可以根據(jù)晶圓尺寸，材質(zhì)更改Spindle的直徑，形狀和材質(zhì)可以使用伯努利吸附方式
  • 控制方式：串口RS232C或者并口光學I/O口
  • 不符合SEMI規(guī)格的缺口，缺邊形狀也可以提供定制設計
  • 能夠為Spindle增加Z軸以滿足對晶圓進行升降的需求

SAL3000HV系列晶圓校準器

應用設備實例

PE-CVD設備；AOI設備

規(guī)格

被搬運物SEMI規(guī)格 晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓)
(其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設計)
2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV)
100-200 mm (SAL3482HV)
200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度晶圓中心：±0.1 mm以內(nèi)
晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內(nèi)
位置確定所需時間3秒（不包括晶圓的取放時間）
傳感器LED燈照明+圖像識別傳感器的方式對晶圓邊緣進行檢測
位置校正范圍半徑4mm以內(nèi)
晶圓吸附方式真空吸附式
潔凈度ISO標準 Class 2(驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
質(zhì)量大約10 kg
廠務電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上


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