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SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：1262次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。可用于4～8寸晶圓的搬運(yùn)，體積小，性價(jià)比高。

詳細(xì)介紹

SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。可用于4～8寸晶圓的搬運(yùn)，體積小，性價(jià)比高。

  • 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 相對舊型號(hào)SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸

SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運(yùn)物SEMI規(guī)格 100～200 mm硅片
位置確定所需時(shí)間定位晶圓中心：3 sec
位置精度晶圓中心：±0.1 mm以內(nèi)
晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內(nèi)
傳感器可視光半導(dǎo)體激光傳感器
潔凈度ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下）
動(dòng)力3軸使用2相步進(jìn)電機(jī)，電機(jī)控制器和脈沖發(fā)生器安裝在本體內(nèi)部
廠務(wù)電源：DC24V±10% 3A
正壓：60 SLM, 0.01-0.3 MPa

 

  •  

 

        • 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
        • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
        • 相對舊型號(hào)SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
      • 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
      • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
      • 相對舊型號(hào)SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
    • 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
    • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
    • 相對舊型號(hào)SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
  • 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 相對舊型號(hào)SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸


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