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SORTER SYSTEM傳輸平臺系統

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

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更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數：1529次

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產品簡介

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統可實現300片/小時產率的高性能晶圓搬運系統，系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器

詳細介紹

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統可實現300片/小時產率的高性能晶圓搬運系統，系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統

  • 符合SEMI標準（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
  • Aligner具有Buffer功能，能夠實現晶圓的更換動作，提高了設備的Throughput
  • 配備ID Reader，能夠讀取晶圓的ID信息（晶圓正反面對應為選配）
  • 上述標準規格之外，以下規格的產品也可以定制
        1. 4 FOUP對向擺放（Throughput為400片/h）
        2. 4 FOUP的inline類型（Throughput為600片/h）

    應用設備實例

    半導體生產線

    規格

    對應片盒300 mm FOUP（25片）
    SEMI E47.1，E62標準品
    對應晶圓300 mm 硅片（厚度775 µm）
    Throughput*300片/h
    潔凈度ISO標準 Class 2（FFU使用）
    外形尺寸*W1250xD2500xH1900
    重量*大約 800 kg
    廠務電源：AC200V±10% 2kVA
    干燥空氣：0.5MPa±10%
    真空：優于-53 kPa

 


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